Определение оптимального варианта направления исследований в части разработки систем и технологий лазерной обработки изделий для обеспечения гибких производственных процессов при производстве компонентов и устройств электроники

Целью проекта является определение оптимального варианта направления исследований в части разработки систем и технологий лазерной обработки изделий для обеспечения гибких производственных процессов при производстве компонентов и устройств электроники. Задачи: 1) Определение методов, технологий и режимов производственных процессов при разработке компонентов и устройств электроники. 2) Подробный анализ актуальных и перспективных направлений работ в рамках проекта. 3) Обзор современного состояния науки и промышленности по 11 технологиям, представленным в техническом задании к проекту. 4) Теоретические оценки параметров лазерных комплексов, необходимых для реализации вышеперечисленных технологий. В результате выполнения проекта необходимо получить: рекомендации по работам в области перспективных направлений исследований, в том числе по прорывным технологиям: фотонной литографии, по лазерно-плазменной установке и технологиям, по управлению поперечным распределением интенсивности в пучке и последовательностями импульсов на основе проведенного обзора литературы и теоретических оценок параметров лазерных комплексов, необходимых для реализации вышеперечисленных технологий.