Разработка радиоэлектронного блока активной виброзащиты для высокоточных микроскопов и прецизионного технологического оборудования

Актуальность проекта связана с развитием прецизионных микротехнологий, выражающемся в уменьшении предельных размеров создаваемых и исследуемых объектов. Одним из ключевых факторов, ограничивающих точность и стабильность контрольных и технологических процессов, являются внешние вибрации. Для достижения высокого разрешения в работе прецизионного оборудования применяются системы активной виброзащиты. Современные аналоги имеют рабочую полосу, ограниченную 0.5 Гц по нижней граничной частоте. Достижение нового качества в предлагаемой в проекте системе обеспечивается применением более чувствительных датчиков в составе контура обратной связи системы виброзащиты. Содержание НИОКР состоит в разработке РЭА, максимально использующей предоставленные новыми чувствительными элементами возможностей. Ожидается достижение рабочей полосы 0.1-100 Гц и увеличение, по сравнению с аналогами, на порядок коэффициента подавления вибраций на частоте 1 Гц. Разрабатываемая аппаратура будет использовать более 90% российских электронных компонентов.