Фазово-химический состав и термоэлектрические свойства тонких пленок на основе силицидов железа

Плёночные термоэлектрические материалы в настоящее время активно исследуются большим количеством научных групп по всему миру. Интерес к таким материалам связан с набором потенциально привлекательных, но весьма специфических практических приложений, таких, как автономное питание маломощных микроэлектронных схем, а также автономные генераторы для космоса. Последнее применение является особенно интересным, т.к. задача снижения веса изделий весьма актуальна для космических аппаратов. Силициды железа – это материал, имеющий огромное количество потенциальных применений в полупроводниковой электронике: многочисленные варианты применения в оптических, фотонных устройствах и в интегральных электронных и спинтронных системах дополняется перспективным направлением создания на его основе термоэлектрических преобразователей. Большой спектр практических применений связан с особенностями строения силицидов железа — это сложные соединения с большим количеством фаз, которые и определяют широкий спектр физических свойств. В частности, с точки зрения формирования высокоэффективных термоэлектрических систем выгодным является создание однофазных пленочных структур на основе beta-FeSi2, эта задача выполнима только с применением новых технологий.