Разработка комбинированных методов синтеза функциональных слоев для наноэлектроники и микросистемной техники

Объект исследования: процессы нанесения функциональных локализованных слоев. Цель исследования: создание научных основ процесса печати металлов, полупроводников и диэлектриков. Ожидаемые результаты: -печатающие головки с микроразмерными соплами для нанесения точечных областей функционального материала; - механизмы локального нанесения слоя оксида индия олова на нагретую подложку; - особенности процессов химического и электрохимического осаждения слоя сульфида цинка на мениске, образованном между микроразмерным соплом и подложкой; - закономерности образования локальных областей сегнетоэлектрических пленок цирконата-титаната свинца, титаната бария и оксида цинка на проводящих подложках; - методы локальной химической металлизации диэлектрических и полупроводниковых подложек и структур с использованием химических активаторов поверхности; - закономерности локальной кристаллизации из раствора полимерных пьезо- и пироэлектрических пленок; - особенности нанесения многослойных структур функционального материала и межсоединений на подложки, исследование контактных явлений в такой структуре; - особенности создания свето- и акустостоизлучающих структур на единой подложке, исследованиы физические свойства этой структуры. - метод литографии на основе 2D печати для создания элементов МЭМС.