Научные основы электронно-лучевой технологии создания многокомпонентных диэлектрических материалов и покрытий с использованием форвакуумных плазменных источников электронов

Планируемые результаты работы: - определение условий стабильного инициирования и устойчивого существования разряда с полым катодом в диапазоне давлений 0,1 -10 Па. - установление требований, необходимых и достаточных для формирования однородной плазменной границы в разряде с полым катодом в диапазоне давлений 0,1 -10 Па. - распределение тока по сечению электронного пучка в зависимости от режимов горения разряда и геометрии разрядно-эмиссионной системы. Установление их оптимального сочетания с точки зрения однородности пучка. - определение условий формирования плазмы при транспортировке электронного пучка в диапазоне давлений 0,1-10 Па. - результаты измерения состава и параметров пучковой плазмы в зависимости от условий ее генерации. - демонстрация применения пучковой плазмы для осуществления плазмохимических реакций, а также для обработки поверхностей различных материалов. Практическая значимость проекта заключается в использовании разработанных на основе исследований генераторов пучковой плазмы в инновационных технологиях модификации поверхностных и объемных свойств полупроводниковых и диэлектрических материалов