Разработка технологии синтеза и структурирования алмазных и алмазоподобных пленок для создания функционализированных слоёв, элементов, приборных структур

Цель научного исследования: Основной целью предлагаемого проекта, является разработка и создание уникальной технологии синтеза синтетического алмаза методами CVD. Планируется разработать методы обработки поверхности алмаза плазменными и механическими методами, а так же разработать методику планаризации и разделения синтетического алмаза. Провести исследования морфологии поверхности алмаза, оптических его свойств и физико-химический анализ. Актуальность проблемы, предлагаемой к решению: На сегодняшний день перед углеродной микро и нано-электроникой стоит ряд фундаментальных задач, одной из которых является разработка технологии синтеза алмазных покрытий на кремниевых и диэлектрических подложках. Требуются технологии по обработке поверхности синтетического алмаза и его планаризации. Описание задач, предлагаемых к решению. Анализ существующих проблем при изготовлении наноструктурированных поверхностей алмазных пленок и устройств на их основе Адаптация технологических основ синтеза тонких алмазных пленок с заданными свойствами на поверхности монокристаллов алмаза, кремния и оксида кремния Морфологический, физико-химический анализ электрических и оптических свойств пленок полученных в при различных условиях проведения технологических процессов формирования пленок Разработка и исследование методик плазмохимического травления и планаризации алмазных пленок. Разработка технологического процесса фотолитографии на поверхности монокристаллических и поликристаллических алмазных пленках. Предполагаемые (ожидаемые) результаты и их возможная практическая значимость (применимость): Анализ существующих проблем при изготовлении наноструктурированных поверхностей алмазных пленок и устройств на их основе Адаптация технологических основ синтеза тонких алмазных пленок с заданными свойствами на поверхности монокристаллов алмаза, кремния и оксида кремния. Морфологический, физико-химический анализ электрических и оптических свойств пленок полученных в при различных условиях проведения технологических процессов формирования пленок. Возможная практическая значимость: новые разработанные методики исследований структурных и морфологических свойств УНМ, позволят получать более точное описание физических свойств УНМ. новый разработанный технологический процесс откроет возможности оптимизации процесса изготовления углеродных наноматериалов а также функциональных тонкопленочных материалов. создание прототипов функциональных элементов с более высокими характеристиками.