Создание наноструктурированных фотовольтаических преобразователей на основе оксидных и халькогенидных полупроводниковых соединений

Разработка наноструктурированных фотовольтаических преобразователей на основе наноструктурированного кремния предполагает отработку нескольких технологий. В рамках представленной работы предполагается отработка технологии нанолитографии, позволяющей сформировать структурированную наномаску для последующего плазмохимического травления кремния, что позволит сформировать упорядоченный массив наноструктур. В свою очередь, для эффективного преобразования солнечной энергии на структуру предполагается нанести оксидные соединения. В рамках первого этапа предполагается исследовать технологию формирования оксида железа методом химического осаждения из газовой фазы. Химическое осаждение из газовой фазы позволяет контролировать состав и структуру получаемых покрытий, при этом обладает преимуществом перед классическими методами отсутствием большого количества жидкостных токсичных отходов.