НИОКТР
№ АААА-А19-119082090003-7Создание научных основ эпитаксиального синтеза монокристаллического алмаза на поверхности переходных металлов и их сплавов
14.07.2022
Основной задачей данного проекта является определение фундаментальных факторов роста монокристаллического алмаза на подложках переходных металлов и получение монокристаллического алмаза диаметром 30 мм и более. В рамках этой задачи будут решаться следующие проблемы:1)Определение совокупности факторов для роста монокристаллического алмаза на моно- и поликристаллических слоях переходных металлов.2)Замена иридия в системе алмаз-подложка путем имитации его кристаллической решетки с помощью твердого раствора переходных металлов.3)Разработка комплекса мер для получения тонкопленочных переходных металлов и их сплавов со структурой FCC методом магнетронного распыления.По результатам выполнения проекта будут получены следующие результаты:1) Фундаментальные факторы роста монокристаллического алмаза на подложках переходных металлов.2) Замена иридия в системе алмаз-подложка путем имитации его кристаллической решетки с помощью твердого раствора переходных металлов.3) Технология получения монокристаллического алмаза диаметром 30 мм и более.Экономически эффективное получение монокристаллического алмаза с диаметрами от 30 мм и более окажет существенное влияние на развитие таких областей техники как создание высокоточных MEMS структур, выводных окон современных ускорителей элементарных частиц и детекторов ионизирующего излучения, инфракрасной оптики для различных областей применения, новых поколений ВЧ и СВЧ приборов, в частности структур GaN на алмазе и т.д.
ГРНТИ
29.19.16 Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела
Ключевые слова
СИНТЕЗ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ
CVD АЛМАЗ
МОНОКРИСТАЛЛ
Детали
Начало
01.07.2019
Окончание
30.06.2022
№ контракта
19-72-10057
Заказчик
Российский научный фонд
Исполнитель
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский Томский политехнический университет"
Бюджет
Средства фондов поддержки научной и (или) научно-технической деятельности: 15 000 000 ₽
Похожие документы
Создание научных основ эпитаксиального синтеза монокристаллического алмаза на поверхности переходных металлов и их сплавов
1.000
НИОКТР
Разработка инновационных методов синтеза монокристаллических алмазных полупроводниковых материалов и гетероструктур изолятор-полупроводник-проводник
0.951
НИОКТР
Разработка инновационных методов синтеза монокристаллических алмазных полупроводниковых материалов и гетероструктур изолятор-полупроводник-проводник. Этап 2021 год
0.951
НИОКТР
Разработка технологии синтеза и структурирования алмазных и алмазоподобных пленок для создания функционализированных слоёв, элементов, приборных структур
0.946
НИОКТР
Синтез поли-, микро- и нанокристаллического алмаза из высокоскоростного потока активированных газовых смесей
0.945
НИОКТР
Создание научных основ получения материалов для элементов экстремальной электроники на основе монокристаллов синтетического алмаза с активной площадью от 100 мм^2
0.942
НИОКТР
Создание научных основ получения материалов для элементов экстремальной электроники на основе монокристаллов синтетического алмаза с активной площадью от 100 мм².Изучение процесса осаждения алмаза из газовой фазы на подложках монокристалла алмаза большой площади. Отработка процессов формирования полупроводниковых и пьезоэлектрических комплементарных структур на алмазе
0.942
ИКРБС
Синтез монокристаллов алмаза высокого качества в микроволновой плазме при высоких давлениях для применений в электронике и фотонике
0.941
НИОКТР
Создание научных основ получения материалов для элементов экстремальной электроники на основе монокристаллов синтетического алмаза с активной площадью от 100 мм^2
0.939
НИОКТР
Разработка технологии синтеза и структурирования алмазных и алмазоподобных пленок для создания функционализированных слоёв, элементов, приборных структур
0.936
ИКРБС