Особенности функционирования плазменных источников электронов в кислородной среде в форвакууме при электронно-лучевом синтезе оксидных покрытий

По итогам выполнения проекта планируются следующие результаты: 1. Будет осуществлена модернизация конструкции форвакуумного плазменного источника электронов, отлажено и протестировано диагностическое оборудование, обеспечивающие возможность проведения исследований в кислородосодержащей среде. 2. Будут выявлены особенности функционирования, определена область рабочих параметров и исследованы характеристики форвакуумного плазменного источника электронов в кислородной среде. 3. Будут выявлены особенности взаимодействия электронного пучка с испаряемым материалом в кислородной среде. Особое внимание будет уделено процессам, происходящим при испарении металлических материалов. Будет выполнен термодинамический анализ этих процессов. 4. Будет продемонстрирована возможность эффективного электронно-лучевого синтеза оксидных покрытий, определена область рабочих параметров электронного пучка и давления кислорода, обеспечивающие наибольшую скорость осаждения при сохранении высокого качества покрытий.