Разработка функциональных мембранных сегнетоэлектрических наноматериалов для микроэлектронных и электромеханических систем

Проект направлен на создание мембранных структур, выполненных с использованием комплексных технологий, многофункциональных гибридных систем, в которых наряду с кремнием используются наноразмерные сегнетоэлектрические пленки. Научная новизна проекта заключается в том, что в качестве материала мембраны используется наноразмерная сегнетоэлектрическая пленка титаната бария стронция состава Ba(x)Sr(1-x)TiO3 (x=0.7-0.8), далее BST. Исследования будут выполняться как на макроскопическом уровне, так и в наномасштабной области с использованием методов сканирующей зондовой микроскопии. Планируется провести: - разработку технологии формирования сегнетоэлектрических пленок и измерение их свойств - разработку технологии изготовления мембранных структур на основе сегнетоэлектрических пленок - измерение электрофизических параметров мембранных структур на основе сегнетоэлектрических пленок.