Разработка специального эталона, зондов и калибровочных подложек для зондовых измерений комплексных коэффициентов отражения и передачи микроэлектронных структур на пластине в диапазоне частот до 110 ГГц

Целью выполнения ОКР является разработка следующих изделий: - специального эталона единиц комплексного коэффициента отражения (ККО) и комплексного коэффициента передачи ( ККП) микроэлектронных структур на пластине в диапазоне частот до 110 ГГц (разрабатывается конструкторская документация (КД), предназначенного для воспроизведения, хранения и передачи единиц ККО и ККП микроэлектронных структур на пластине в диапазоне частот до 110 ГГц в интересах метрологического обеспечения производства и испытаний СВЧ ЭКБ различного назначения; - набора измерительных зондов, предназначенного для коммутации измерительных портов компарирующей установки с портами тестируемых копланарных многополюсников при измерениях ККО и ККП; - набора калибровочных подложек, предназначенного для воспроизведения единиц ККО и ККП микроэлектронных структур на пластине в диапазоне частот до 110 ГГц