НИОКТР
№ 123121400014-3Разработка детекторов ионизирующего излучения на низко-дислокационных монокристаллах алмаза, выращиваемых из газовой фазы, с высокой эффективностью сбора зарядов
14.12.2023
Проект нацелен на исследование и разработку детекторов ионизирующего излучения на алмазных пленках и кристаллах с пониженной плотностью дислокаций и дефектов, выращиваемых методом осаждения из газовой фазы в СВЧ-плазмохимических реакторах (CVD алмазах). В силу высокой радиационной стойкости алмаза, детекторы на его основе востребованы в качестве альтернативы традиционным полупроводниковым детекторов, например, кремниевых, так как первые могут обеспечить большее время жизни прибора в условиях сильных радиационных полей. Ключевым требованием к алмазным кристаллам детекторного качества, является получение материала с низкой плотностью дислокаций, низким уровнем вызванных дефектами напряжений, и низким содержанием примесей, однако задача снижения плотности дислокаций остается все еще серьезной проблемой.
В проекте будут решены две важные основные задачи: (1) разработка новых подходов к выращиванию монокристаллов CVD-алмазов для подавления возникновения дислокаций, и (2) созданию образцов алмазных радиационных детекторов с высокими характеристиками. Оба партнера, Российская и Китайская группа, проведут исследования в обоих указанных направления, используя четыре типа передовых СВЧ-реакторов (ARDIS-100, ARDIS-300, Plassys SSDR-150, и оригинальный самодельный реактор у Китайского партнера), все работающие на частоте 2,45 ГГц. Особенностью подхода Российского участника является приготовление для гомоэпитаксии специальных подложек, в которых дислокации, направлены преимущественно вдоль грани (100), на которой проводится эпитаксия. Китайский участник развивает другой подход - метод бокового роста пленки (epitaxial lateral overgrowth - ELO), при котором частично блокируется прорастание дислокаций из подложки в пленку. Кроме того, будет реализовано получение тонких гетероэпитаксиальных алмазных пленок на подложках с монокристальным слоем иридия.
Будут проведены систематические и исследования структуры синтезируемых образцов арсеналом современных аналитических методов - Рамановской спектроскопии, фотолюминесцентной спектроскопии, сканирующей и просвечивающей электронной микроскопии, рентгеновской дифрактометрии, интерферометрии белого света, спектроскопии оптического поглощения, и других. Особенно детально будут изучены локальные распределения дислокаций и напряжений по кристаллу, и их корреляции с режимами роста кристаллов.
Будет спроектировано и изготовлено несколько вариантов детекторных структур на толстых (толщина 0,3 – 0,7 мм) и тонких (<50 мкм) пленках. Характеристики детекторов: эффективность сбора зарядов, энергетическое разрешение, временная стабильность, подвижность и времена жизни носителей заряда, будут измерены при облучении альфа-частицами с энергией 5,5 МэВ. С идеей увеличения рабочей площади детекторов, будут выращены мозаичные алмазные кристаллы путем создания монолитного алмазного слоя на тесно размещенных нескольких идентичных алмазных подложках, и исследованы свойства детекторов, изготовленных на мозаиках.
Также будут спроектированы, изготовлены и испытаны несколько других дизайнов детекторов: (i) на тонких пленках с заглубленными планарными электродами для работы при низковольтных смещениях; (ii) на диоде Шоттки, (iii) на алмазных гетероструктурах, (iv) детектор ультрафиолетового излучения типа метал-алмаз-металл. Будут продемонстрированы детекторы с эффективностью сбора заряда выше 95%.
ГРНТИ
29.19.25 Взаимодействие проникающего излучения с твердыми телами
29.19.21 Влияние облучения на свойства твердых тел
29.19.16 Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела
Ключевые слова
Алмаз
монокристалл
химическое осаждение из газовой фазы
микроволновая плазма
дислокации
напряжения
радиационный детектор
альфа-частицы
эффективность сбора зарядов
время-пролетный метод
Детали
Начало
01.01.2023
Окончание
31.12.2025
№ контракта
23-42-00120
Заказчик
Российский научный фонд
Исполнитель
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ФЕДЕРАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЦЕНТР "ИНСТИТУТ ОБЩЕЙ ФИЗИКИ ИМ. А.М. ПРОХОРОВА РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК"
Бюджет
Средства фондов поддержки научной и (или) научно-технической деятельности: 21 000 000 ₽
Похожие документы
Оптимизация технологических режимов изготовления алмазных кристаллов и контактов, изготовление и испытание экспериментальных образцов с трехмерной архитектурой электродов и детекторов для регистрации медленных нейтронов
0.942
ИКРБС
Разработка экспериментальных образцов детекторов и фотовольтаических преобразователей на основе синтетического алмазного материала
0.937
ИКРБС
Разработка инновационных методов синтеза монокристаллических алмазных полупроводниковых материалов и гетероструктур изолятор-полупроводник-проводник
0.933
НИОКТР
Радиационно-модифицированные алмазы: оптические свойства, инженерия дефектов и структурные превращения
0.932
НИОКТР
Полупроводниковый CVD алмаз для мощных и высокочастотных электронных приборов
0.932
ИКРБС
Фундаментальное материаловедение монокристаллического алмаза, легированного бором и центрами окраски, как основы приборов СВЧ, опто- и биосенсорики
0.930
НИОКТР
Фундаментальное материаловедение монокристаллического алмаза, легированного бором и центрами окраски, как основы приборов СВЧ, опто- и биосенсорики
0.930
НИОКТР
Синтез и обработка новых неорганических материалов с использованием плазмы и микроволнового излучения
0.929
ИКРБС
Синтез и обработка новых неорганических материалов с использованием плазмы и микроволнового излучения
0.929
ИКРБС
Разработка технологии синтеза и структурирования алмазных и алмазоподобных пленок для создания функционализированных слоёв, элементов, приборных структур
0.928
ИКРБС