НИОКТР
№ 124021200016-1Разработка конструкторской документации и изготовление опытного образца установки бесконтактного контроля электрофизических параметров тонких диэлектрических слоёв (вкл. контроль толщины полупроводниковых и диэлектрических слоев)
07.02.2024
Разработка конструкторской документации с литерой О1 и изготовление опытного образца установки автоматического, бесконтактного контроля толщины и оптических параметров полупроводниковых и диэлектрических слоев.
ГРНТИ
29.31.26 Спектроскопические методы и методики
29.19.16 Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела
Ключевые слова
Установка
контроль
электрофизические параметры
Детали
Начало
22.12.2023
Окончание
30.11.2028
№ контракта
23411.4732190019.05.018
Заказчик
МИНИСТЕРСТВО ПРОМЫШЛЕННОСТИ И ТОРГОВЛИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
Исполнитель
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ИНСТИТУТ ФИЗИКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ ИМ. А.В. РЖАНОВА СИБИРСКОГО ОТДЕЛЕНИЯ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК
Бюджет
Средства федерального бюджета: 886 625 000 ₽
Похожие документы
Разработка и изготовление опытного образца установок и постановка базового технологического процесса контроля привносимой дефектности поверхности полупроводниковых пластин без топологии
с размером минимального обнаруживаемого дефекта 45 нм.
0.905
НИОКТР
Разработка конструкторской документации для изготовления опытного образца трехкоординатной моторизованной подвижки установки для лазерно-индуцированного нанесения медных и никелевых проводников на диэлектрические полимерные поверхности. Разработка макета ячейки для лазерно-индуцированного осаждения медных и никелевых проводников из растворов на диэлектрические полимерные поверхности опытного образца установки. Разработка опытного образца установки для лазерного нанесения медных проводников на диэлектрические полимерные поверхности. Разработка опытного образца установки для лазерного нанесения никелевых проводников на диэлектрические полимерные поверхности.
0.892
ИКРБС
Разработка технического проекта. Макетирование
0.885
ИКРБС
Разработка и изготовление опытного образца установки для лазерно-индуцированного нанесения медных и никелевых проводников на диэлектрические полимерные поверхности, проведение их исследований и испытаний
0.883
ИКРБС
"Разработка и изготовление опытного образца бесконтактного устройства во взрыво- и пожаробезопасном исполнении для измерения давления посредством измерения перемещений с субнанометровой точностью методом оптической интерферометрии." (договор №41ГС1НТИС5/43259 от 27.09.2018)
0.881
ИКРБС
Разработка и изготовление установочного образца лазерной автоматизированной станции для бесконтактного измерения механических напряжений и контроля локальных дефектов
0.880
ИКРБС
Разработка производственно-ориентированной установки молекулярно-лучевой эпитаксии для серийного выпуска гетероструктур на основе CdHgTe для фотоприёмной техники с возможностью выращивания на подложках диаметром до 150 мм
0.880
НИОКТР
Разработка эскизной конструкторской документации, изготовление макетов и исследовательские испытания электрооптических градиентных тонкоплёночных структур
0.876
ИКРБС
Испытания экспериментального образца установки экспресс-диагностики электромагнитных параметров наноматериалов
0.876
ИКРБС
Разработка и изготовление опытных образцов установок ионно-лучевого травления и ионно-лучевого распыления
0.876
НИОКТР