Определение перспектив использования индукционно-термического вакуумного распыления для нанесения тепло- и электропроводящих металлических покрытий (металлизации) на бериллий-оксидные керамические изделия для ЭКБ микроэлектроники

29.03.2024

В работе проводились экспериментальные работы по формированию на керамических подложках металлизации в процессе индукционно-термического вакуумного распыления и комплексный анализ полученных результатов исследований. По итогам выполнения работ были получены предварительные данные по равномерности и адгезионной прочности покрытий на бериллий-оксидных керамических подложках (опытных образцах); промежуточные результаты исследований равномерности и адгезионной прочности покрытий на бериллий-оксидных керамических подложках ЭКБ микроэлектроники.

ГРНТИ

81.13.13 Отдельные технологические процессы

Ключевые слова

индукционно-термическое вакуумное распыление

металлизация

керамические комплектующие

оксид бериллия

элементная компонентная база

титан

ниобий

молибден

Детали

Начало

01.10.2023

Окончание

20.12.2023

№ контракта

ИС2023/23

Заказчик

Автономная некоммерческая организация «Институт регионального развития»

Исполнитель

ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "САРАТОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМЕНИ ГАГАРИНА Ю.А."

Бюджет

Средства хозяйствующих субъектов: 1 000 000 ₽

ИКРБС

№ 225020307322-6

Похожие документы

Определение перспектив использования индукционно-термического вакуумного распыления для нанесения тепло- и электропроводящих металлических покрытий (металлизации) на бериллий-оксидные керамические изделия для ЭКБ микроэлектроники.

0.974

ИКРБС

Электронно-лучевое нанесение теплопроводящих керамических покрытий для устройств микроэлектроники (промежуточный 2018)

0.915

ИКРБС

Проектно-конструкторские работы по созданию вакуумной установки для нанесения пористого покрытия TiN на перемещающуюся алюминиевую основу электронно-лучевым методом. Проведение поисковых научно-исследовательских работ по созданию альтернативной технологии производства анодной фольги для алюминиевых оксидно-электролитических конденсаторов (заключительный)