Электронно-микроскопические исследования структуры и сегнетоэлектрических свойств тонких плёнок твердых растворов цирконата-титаната свинца в области морфотропной фазовой границы, полученных методом высокочастотного магнетронного распыления, для устройств микроэлектромеханики

В проекте предполагается разработать и реализовать подходы, с помощью которых можно изготавливать тонкие пленки цирконата-титаната (ЦТС) для микроэлектромеханических устройств микроэлектроники, характеризующиеся заданной микроструктурой и естественной униполярностью, полученные на функциональных подложках. Предполагается решение следующих задач: - формирование двухстадийным методом высокочастотного магнетронного распыления тонких пленок ЦТС, состав которых соответствует области морфотропной фазовой границы, где большинство электрофизических параметров (в том числе, электромеханических) достигают максимальных значений, - изучение методами растровой электронной микроскопии и атомно-силовой микроскопии особенностей кристаллизации фазы перовскита и элементного состава, фазовой и элементной неоднородности сформированных тонких пленок ЦТС при варьировании технологических параметров их получения (расстояние мишень-подложка, температура высокотемпературного отжига и др. ) - исследование униполярных свойств тонких пленок ЦТС, выявление технологических условий для формирования внутреннего электрического поля и устойчивой естественной униполярности (самопроизвольной макроскопической поляризации, сравнимой по величине со спонтанной (остаточной) поляризацией в процессе их изготовления, - развитие представлений о механизмах, ответственных за формирование естественной униполярности, на основании результатов экспериментальных исследований