Разработка технологического процесса гетерогенной интеграции лазерной гетероструктуры А 3 В 5 и пассивной волноводной структуры на основе КНИ

Целью НИР «Разработка технологического процесса гетерогенной интеграции лазерной гетероструктуры А3В5 и пассивной волноводной структуры на основе КНИ» является разработка технологии гетерогенной сборки (бондинга) волноводных структур на КНИ с лазерными гетероструктурами на А3В5 методом «пластина с пластиной», обеспечивающей оптическую передачу сигнала между пассивной волноводной и лазерной структурами, при изготовлении многофункциональных ФИС для высокоскоростных приемо-передающих модулей (трансиверов). В ходе выполнения НИР решаются следующие задачи: формулирование ограничений на геометрические и оптические свойства буферного слоя с помощью методов численного моделирования; разработка базовой технологии гетерогенной интеграции лазерной гетероструктуры А3В5 и пассивной волноводной структуры на основе КНИ; разработка методик исследования и характеризации экспериментальных образцов состыкованных лазерных гетероструктур А3В5 и пассивных волноводных структуры на основе КНИ; 4. изготовление экспериментальных образцов состыкованных лазерных гетероструктур А3В5 и пассивных волноводных структур на основе КНИ; 5. Исследования экспериментальных образцов состыкованных лазерных гетероструктур А3В5 и пассивных волноводных структур на основе КНИ;6. Разработка ОНТД на разработанный базовый технологический процесс гетерогенной интеграции лазерной гетероструктуры А3В5 и пассивной волноводной структуры на основе КНИ. В результате реализации проекта будет разработана технологическая база для постановки ОКР по разработке полного цикла изготовления и организации серийного производства отечественных гетерогенно интегрированных ФИС, содержащих пассивные кремниевые волноводные элементы, управляемые и активные элементы на гетероструктурах А3В5, для перспективных разработок высокоскоростных оптических приемопередающих модулей (трансиверов), используемых в телекоммуникационном оборудовании, центрах обработки данных и устройствах управления объектами наземного, воздушного и космического базирования различного назначения.