НИОКТР
№ 124072000016-5Технология синтеза монокристалла алмаза методом плазмохимического осаждения CVD
19.07.2024
Использование природного алмаза в ювелирной отрасли и промышленности ограничено его стоимостью и наличием большого количества структурных дефектов и включений. Поэтому, в настоящее время происходит активное развитие технологий синтеза монокристалла алмаза, которые позволяют получать камни, по характеристикам не уступающие, а иногда и превосходящие, натуральным минералам. Высокая чистота, минимальное количество структурных дефектов, низкое содержание примесей, химическая стабильность, высокая твердость, износостойкость, теплопроводность и оптическая дисперсия получаемых синтетических алмазов позволяет широко применять их в различных отраслях науки и техники.
Технология синтеза монокристалла алмаза методом плазмохимического осаждения из газовой фазы (CVD-метод) позволяет получать кристаллы лучшей чистоты и цвета. Плазменная активация газовой смеси приводит к диффундированию активных радикалов/молекул к поверхности подложек, тем самым наращивая алмазную фазу (эпитаксиальный рост). Варьируемыми параметрами в процессе синтеза являются: давление, мощность СВЧ-излучения, содержание газов и температура подложки.
Проведение группового роста кристаллов позволит увеличить долю годного сырья при снижение экономических и энергетических затрат. Подбор и контроль параметров синтеза обеспечит получение алмазов высотой 4 мм и более с минимальным содержанием структурных дефектов и примеси азота до 1 ppm и менее.
ГРНТИ
29.27.51 Применение плазмы
Ключевые слова
монокристалл алмаза
плазмохимическое осаждение
синтез
групповой рост
эпитаксиальный рост
подложки
чистота
молибден
реактор
дефекты
Детали
Начало
09.01.2024
Окончание
31.12.2024
№ контракта
075-15-2024-210
Заказчик
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
Исполнитель
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ "МИСИС"
Бюджет
Средства федерального бюджета: 1 040 000 ₽
ИКРБС
Похожие документы
Синтез нелегированных плёнок монокристаллического алмаза методом CVD без травления подложек
0.921
РИД
Развитие методов газофазного синтеза моно, поли и нано кристаллических алмазных пленок и пластин (CVD алмаз), одностенных углеродных нанотрубок и графена, а также углеродных нанокомпозитов на их основе.
0.917
НИОКТР
«Синтез нелегированных плёнок монокристаллического алмаза методом CVD без травления подложек»
0.917
РИД
Разработка инновационных методов синтеза монокристаллических алмазных полупроводниковых материалов и гетероструктур изолятор-полупроводник-проводник. Этап 2021 год
0.915
НИОКТР
Синтез и обработка новых неорганических материалов с использованием плазмы и микроволнового излучения
0.914
ИКРБС
Синтез и обработка новых неорганических материалов с использованием плазмы и микроволнового излучения
0.914
ИКРБС
Синтез алмазных плёнок в СВЧ плазме: влияние состава газовой смеси на вторичное зародышеобразование
0.912
НИОКТР
Разработка технологии синтеза и структурирования алмазных и алмазоподобных пленок для создания функционализированных слоёв, элементов, приборных структур
0.911
ИКРБС
Разработка технологии синтеза и структурирования алмазных пленок для создания функциональзированных слоев, элементов, приборных структур.
0.911
ИКРБС
CVD cинтез и диагностика структуры алмазных пленок
0.910
НИОКТР