Разработка физико-химических методов определения химического и изотопного состава высокочистых веществ и новых функциональных материалов на их основе

Развитие современных технологий производства новых высокоэффективных устройств для микроэлектроники, оптоэлектроники, фотоники во многом основано на использовании для их получения исходных веществ и материалов с предельно низким содержанием примесей и необходимым фазовым составом. Согласно современным требованиям содержание лимитируемых примесей в исходных веществах не должно превышать 10-6-10-10 %. Поэтому актуальными задачами являются развитие методов масс-спектрометрии, атомно-эмиссионной спектрометрии, газовой хроматографии, хромато-масс-спектрометрии, дифференциальной сканирующей калориметрии. Важной составляющей является проведение термодинамических и кинетических исследований различных стадий анализа высокочистых веществ. Целью данной работы является разработка физико-химических методов определения химического, изотопного, фазового состава высокочистых веществ и новых функциональных материалов на их основе. В данном исследовании с применением методов масс-спектрометрии, атомно-эмиссионной спектроскопии, хромато-масс-спектрометрии будет изучен элементный и молекулярный примесный состав высокочистых гексафторида вольфрама, фосфина, тетрахлорида германия, фтор- и хлорсодержащих углеводородов, дейтерированного силана, трихлорида и трифторида бора, изотопно обогащенного тетрафторфосфина никеля и ряда других веществ. Будет исследован изотопный состав бора и разработаны методики определения матричных элементов и примесей в стеклах и стеклокерамике различных составов.