Оптические, структурные и электрические свойства тонких металлических пленок применительно к разработке и созданию плазмонных устройств и метаматериалов

Проект направлен на детальное исследование оптических, структурных и электрических свойств тонких металлических (Cu, Ag и Au) пленок в зависимости от их толщины, скорости осаждения и начальной температуры подложки. Будут рассмотрены фундаментальные аспекты, определяющие режимы получения тонких металлических пленок с минимальными оптическими потерями в видимом и инфракрасном диапазоне частот, являющихся перспективными для создания высокоэффективных плазмонных и нанофотонных устройств и метаматериалов. Ожидается разработка технологии создания ультратонких (менее 10 нм) пленок меди и золота, характеризуемых сплошной структурой и высокой проводимостью. Будет определено влияние функциональных подслоев из полимерных и двумерных материалов на оптические и электрические свойства таких ультратонких пленок и будет разработана методика измерения оптических свойств таких пленок с использованием спектральной эллипсометрии. По результатам исследования будут выработаны практические рекомендации по изготовлению тонких и ультратонких металлических пленок для приложений в области плазмоники и нанофотоники.