Разработка научных основ низкотемпературного синтеза функциональных покрытий на основе оксида алюминия с использованием изопропилата алюминия и методов плазменной и термической активации

Проект направлен на разработку нового подхода к синтезу тонкопленочных покрытий на основе оксида алюминия (Al2O3) методом химического осаждения из газовой фазы (CVD). Основное нововведение проекта заключается в использовании изопропилата алюминия (Al(OC3H7)3) в качестве прекурсора и исследовании двух различных методов его активации: термического нагрева подложки и активации высокочастотной (ВЧ) плазмой. Цель проекта — изучение возможностей управления структурой и свойствами покрытия при различных параметрах осаждения, а также оценка потенциальных преимуществ использования нового прекурсора по сравнению с традиционными (AlCl3, TMA). Проект предполагает проведение исследований осаждения покрытий в двух различных атмосферах: чистого изопропилата алюминия и его смеси с кислородом. Предполагается, что добавление кислорода может способствовать более полному разложению прекурсора и улучшению характеристик покрытия.Особое внимание будет уделено сравнению свойств покрытий, полученных с использованием различных методов активации прекурсоров. Ожидается, что активация ВЧ-плазмой позволит снизить температуру осаждения, улучшить однородность и плотность покрытия, а также более точно управлять фазовым составом покрытия. Результаты проекта могут внести значительный вклад в развитие технологий осаждения оксида алюминия, что особенно важно для таких областей, как машиностроение, приборостроение, нефте- и газодобывающая промышленность. Проект также может предложить решения для снижения термических напряжений в покрытиях, повышения их термостойкости и износостойкости, что обеспечит долговечность и эффективность работы оборудования в различных промышленных процессах.