Разработка совокупности технологических методов формирования 2D функциональных наноматериалов и МЕМС-микронагревателей для микроэлектроники нового поколения

Технология создания новых материалов для элементов микроэлектронных устройств нового поколения является одной из основных задач современной микроэлектроники. Особое значение для микроэлектроники нового поколения приобретают 2D материалы на основе аллотропных форм углерода (графен) и такие материалы как MoS2, WS2, (Transition Metal DiChalcogenides (TMDC), которые уже в нынешнем качестве материала более чем на порядок величины выигрывают по подвижности у классических полупроводников сопоставимой толщины. Комбинация атомарной толщины и полупроводниковых свойств является тем уникальным ключом, которого не было ни у одного материала ранее. Она позволяет обойти фундаментальные физические ограничения кремниевой эры и открывает дорогу к созданию микроэлектроники сверхмасштаба, сверхнизкого энергопотребления и принципиально новых архитектур. Именно технология формирования этих функциональных материалов с заданными физико-химическими характеристиками, а также разработки по формированию данных материалов на подложка коммерчески значимых площадей (100 мм) и совместимость технологических процессов для создания готового устройства являются важнейшими тематиками в научно-технологическом сообществе и будет определять степень функциональности конечного устройства на основе этих функциональных материалов. Также одним из важных направлений в рамках реализации программы центра перспективной микроэлектроники является реализация нагревательных элементов для газовых сенсоров и их планарное исполнение с последующим переходом в 3D архитектуру для улучшения базовых характеристик детекторов.