Способ получения металлсодержащего углеродного наноматериала

Особенностью современных наукоемких технологий является стремление создавать и использовать новые материалы, обладающие, помимо уникальных сочетаний механических, физических и других свойств, способностями активно реагировать на изменение внешних условий или внешнее воздействие (интеллектуальные материалы). Создание углеродного пленочного наноматериала с новыми свойствами, проявляющимися в довольно высоких показателях фоточувстсительности, расширяющего как ассортимент используемых в различных областях техники наноматериалов вообще, так и наноматериалов с высокими показателями фоточувствительности является важным направлением наукоемких технологий. Способ получения пленочного металлсодержащего углеродного наноматериала включает последовательное осаждение на подложку в вакууме металла и графита. Металл осаждают термическим испарением, а графит - испарением импульсным дуговым разрядом и осаждением с помощью компенсированных бестоковых форсгустков углеродной плазмы плотностью 5•1012-1•1013 см-3, длительностью 200-600 мкс, частотой следования 1-5 Гц, стимулируемой в процессе осаждения инертным газом в виде потока ионов с энергией 150-2000 эВ, направляемый перпендикулярно потоку форсгустков плазмы. После осаждения осуществляют отжиг подложки в среде азота при температуре 150-500°C в течение 1-10 мин. При этом используют подложку из кремния с собственной проводимостью, а в качестве металла используют металл, выбранный из группы, включающей кадмий; композицию из серебра и никеля; композицию из серебра, никеля и кадмия.