СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТОЛСТОПЛЁНОЧНЫХ РЕЗИСТОРОВ

Изобретение относится к области электротехники, а именно к способу получения толстопленочных резисторов и может быть использовано в производстве постоянных резисторов для гибридных интегральных схем. Техническим результатом является повышение однородности формируемых резистивных слоев и повышение выхода годных за счет сокращения числа технологических операций и повышения управляемости процесса формирования слоев, что обеспечивает возможность получения прецизионных чип - резисторов. Технический результат достигается за счет того, что вжигание высокотемпературной резистивной пасты проводят при температуре 650-700°С при воздействии ультразвуком частотой 60-65 КГц и амплитудой 1-1,2 мкм в течение 15±3 минут, а затем при температуре 840-850°С в течение 15±3 минут при воздействии электромагнитным полем частотой 60-65 МГц. Разработка защищена патентом РФ № 2770906. URL: https://new.fips.ru/registers-doc-view/fips_servlet?DB=RUPAT&DocNumber=2770906&TypeFile=html (дата обращения 13.09.2023 )