СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТОЛСТОПЛЁНОЧНЫХ РЕЗИСТОРОВ

Результат выполнения технологической разработки. Способ относится к электронной технике, а именно к производству постоянных резисторов, в том числе в составе гибридных интегральных схем, и может быть использовано в электронной, радиотехнической и других смежных отраслях промышленности. Повышение термического коэффициента сопротивления за счет улучшения однородности формируемых резистивных слоев является техническим результатом предложенного способа. Технический результат достигается за счет того, что на изолирующей подложке формируются планарные контакты путем нанесения проводниковой пасты методом трафаретной печати на лицевую поверхность подложки. На подложке будет сформирован резистивный слой, с последующим его вжиганием. При этом проводят предварительный отжиг при температуре 700-790°С при изменении температуры с амплитудой ±5°С в течение 5-7 минут, а затем вжигание при ультразвуковом воздействии частотой 60-70 КГц и амплитудой 0,1-0,3 мкм при температуре 810-850°С. Предложенный способ обеспечивает увеличение выхода годных толстопленочных резисторов при сокращении времени процесса и обеспечивает высокое соответствие заданных параметров. URL: https://new.fips.ru/registers-doc-view/fips_servlet?DB=RUPAT&DocNumber=2770908&TypeFile=html (дата обращения: 30.11.2023)