Способ формирования углеродных пленок плазменным осаждением атомов углерода в метане

Результат выполнения научно-исследовательской работы. Изобретение относится к нанотехнологиям и физике конденсированного состояния вещества и может быть использован в синтезировании тонких углеродных пленок, применяющихся в широком спектре электронных приборов, в частности, в получении высокочувствительных датчиков (сенсоров) взрывоопасных углеводородных соединений (пропан, бутан, метан и др.), а также паров этанола для определения содержания опасных концентраций в окружающей среде. Задачей, на решение которой направлено изобретение, является получение углеродных пленок путем осаждения в метане атомов углерода на подложку. Технический эффект, получаемый при решении поставленной задачи, выражается в создании способа плазменного осаждения атомов углерода на подложку в метане при невысокой температуре, обеспечение, при этом, целостности и структуры осаждаемой поверхности. Разработка защищена патентом № RU 2794042.