СВЧ-плазмотрон

Результат выполнения конструкторско-технологической разработки. Разработка относится к плазменной технике, в частности к устройствам для генерирования плазмы с использованием внешних электромагнитных полей сверхвысокой частоты (СВЧ) и может быть использовано в качестве простого и надежного источника чистого безэлектродного СВЧ-разряда для проведения интенсивных плазмохимических и тепловых технологических процессов большой продолжительности при атмосферном давлении. К техническому результату относится повышение надежности работы устройства СВЧ-плазмотрона путем формирования плазменного разряда вдоль оси цилиндрического запредельного волновода, подключенного снаружи и соосно к одному из короткозамкнутых торцов цилиндрического волновода резонансной длины. Вышеуказанный технический результат осуществляется следующим образом: СВЧ-плазмотрон содержит источник СВЧ-излучения, полый прямоугольный питающий волновод, соединенный с отрезком цилиндрического волновода. К одному из торцов отрезка цилиндрического волновода также присоединен отрезок цилиндрического запредельного волновода, а другой торец снабжен патрубком подачи плазмообразующего газа. Прямоугольный питающий волновод сочленен перпендикулярно с боковой стенкой короткозамкнутого с обоих торцов отрезка цилиндрического волновода резонансной длины. Расстояние от оси прямоугольного волновода до другого торца цилиндрического волновода равно половине длины волны моды E01 в цилиндрическом волноводе. Кроме того, диаметр и длина короткозамкнутого отрезка цилиндрического волновода выбраны необходимыми для осуществления условия резонансов одновременно для двух и более типов колебаний в нем, а выход плазмообразующего газа происходит только через цилиндрический запредельный волновод. Наконец, патрубки подачи плазмообразующего газа могут быть расположены на боковой цилиндрической поверхности волновода. Разработка защищена патентом РФ № 2839022.