РИД
№ АААА-Г16-616070810035-9Способ изготовления дифракционной решетки на полимерной основе
08.07.2016
Изобретение относится к способу изготовления дифракционных решеток для видимого диапазона, выполненных на основе полимерных материалов. Способ включает в себя формирование заданной дифракционной периодической микроструктуры на полимерной подложке за счёт имплантации ионов металла с энергией 4-1200 кэВ, дозой облучения, которая обеспечивает концентрацию вводимых атомов металла 2.5·1020 - 6.5·1022 атомов/см3 в облучаемой подложке. В качестве подложки используют несветочувствительный полимер плотностью тока ионного пучка 1.5·1012 - 3.5·1013 ион/см2·с через поверхностную маску. Технический результат заключается в обеспечении возможности изготовления дифракционных решеток для видимого диапазона на основе несветочувствительных типов полимеров с наночастицами различных металлов.
ГРНТИ
29.19.22 Физика наноструктур. Низкоразмерные структуры. Мезоскопические структуры
Ключевые слова
ДИФРАКЦИОННАЯ РЕШЕТКА
Детали
Тип РИД
Изобретение
Ожидается
Заказчик и Исполнитель совместно
Исполнители
Казанский физико-технический институт им.Е.К.Завойского – обособленное структурное подразделение Федерального государственного бюджетного учреждения науки «Федеральный исследовательский центр «Казанский научный центр Российской академии наук»
Заказчик
Федеральное агентство научных организаций
Похожие документы
Способ изготовления амплитудных дифракционных микроструктур и контактных масок
0.925
РИД
Способ изготовления дифракционных оптических элементов
0.920
РИД
Дифракционная решетка на полимерной основе.
0.917
РИД
Способ изготовления фазовых дифракционных решеток, микроструктур и контактных масок
0.916
РИД
Дифракционная решетка
0.915
РИД
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДИФРАКЦИОННОЙ ПЕРИОДИЧЕСКОЙ МИКРОСТРУКТУРЫ НА ОСНОВЕ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ
0.913
РИД
ДИФРАКЦИОННАЯ ПЕРИОДИЧЕСКАЯ МИКРОСТРУКТУРА НА ОСНОВЕ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ
0.908
РИД
Способ изготовления фазовых дифракционных микроструктур
0.908
РИД
Оптическая дифракционная периодическая микроструктура на основе пористого германия и способ ее изготовления
0.905
РИД
Способ формирования тонкопленочных микро- и наноструктур
0.895
РИД