Устройство бесконтактного контроля электромагнитных параметров тонких плёнок

21.07.2016

Полезная модель относится к контрольно-измерительной технике и может быть использована для создания устройств бесконтактного оперативного измерения удельной электрической проводимости, диэлектрической и магнитной проницаемостей тонких плёнок и наноматериалов в диапазоне частот 107 - 1011 Гц. Проблема актуальна в связи с развитием нанотехнологий, где необходимо оперативно контролировать электромагнитные параметры сред и материалов в процессе их производства. Предложенное техническое решение позволяет устранить влияние толщины плёнки и параметров подложки на результат измерения.

ГРНТИ

59.29.33 Приборы для измерения характеристик магнитных полей, магнитных свойств материалов

59.29.35 Комбинированные приборы, установки и системы для измерения электрических и магнитных величин

Ключевые слова

ЭЛЕКТРОМАГНИТНЫЕ ПАРАМЕТРЫ

ТОНКИЕ ПЛЁНКИ

ЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ ПРОВОДИМОСТЬ

ДИЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ ПРОНИЦАЕМОСТЬ

МАГНИТНАЯ ПРОНИЦАЕМОСТЬ

НАНОМАТЕРИАЛЫ

Детали

НИОКТР

№ 114120870175

Тип РИД

Полезная модель

Ожидается

Исполнитель

Исполнители

Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Самарский национальный исследовательский университет имени академика С.П.Королева"

Заказчик

Министерство образования и науки Российской Федерации

Похожие документы

Устройство бесконтактного контроля электромагнитных параметров тонких плёнок, нанесенных на подложку конечной толщины

0.968

РИД

Устройство бесконтактного измерения электромагнитных параметров тонких плёнок

0.955

РИД

Бесконтактный датчик микрорельефа

0.905

РИД