Способ получения тонкопленочного покрытия

Изобретение относится к тонкопленочным стеклокерамическим покрытиям, широко применяемым в материаловедении и медицинском материаловедении, в частности. Способ получения тонкопленочного покрытия на основе SiO 2-TiO2-P2O5-CaO, включающий приготовление пленкообразующего раствора с дальнейшим нанесением этого раствора на поверхность кремниевой подложки и ступенчатую термообработку. Предварительно готовят два пленкообразующих раствора, сливают их вместе с дальнейшем нанесением на подложку при ступенчатой термообработке при температуре 80°C в течение 20 мин с последующим стабилизационным отжигом при температуре 600°C в течение 1 ч. Компоненты для первого ПОР используют при следующем соотношении компонентов, масс.%:Тетрабутоксититан -0,4-1,0Бутиловый спирт- остальноеКомпоненты для второго ПОР используют при следующем соотношении компонентов, масс %Тетраэтоксисилан – 4,6Хлорид кальция -2,8-3,4Ортофосфорная кислота -0,5Этиловый спирт - остальное