Способ получения интерметаллического антиэмиссионного покрытия

относится к области нанесения покрытий и м.б. использовано для формирования интерметаллического антиэмиссионного покрытия на сеточных электродах мощных генераторных ламп.задачей является разработка способа получения антиэмиссионного сеточного покрытыия,обеспечивающего повышение качества и оказывающего влияние на долговечность выпускаемых приборов.решается за счет того,что на электродах мощных генераторных ламп слой карбида циркония получается в результате отжига в вакууме нанослоев, формируемых их зметалличсекой плазмы вакуумно-дугового разряда послоевым способом, осущестлемым за один импульс открытия системы подачи рабочего газа,обеспечивающего изменение давления в рабочем объеме по линейному закону,от мин до макс значения,с последовательным формированием нанослоев из чистого циркония,карбида циркония переменного состава и карбида циркония с избыточным содержанием фазы в покрытии.Позволяет получать бездефектное покрытие и обеспечить синтез высококачественного интерметаллического соед.