РИД
№ АААА-Г16-616101810013-8

Устройство для синтеза и осаждения металлических покрытий на токопроводящих изделиях

18.10.2016

Устройство для синтеза и осаждения металлических покрытий на токопроводящих изделиях, содержащее рабочую камеру с каналом вакуумной откачки, плоские мишени планарных магнетронов на стенках камеры, источники электропитания магнетронных разрядов, соединенные отрицательными полюсами с мишенями, а положительными полюсами с камерой, при этом оно дополнительно содержит изолированный от камеры и установленный внутри нее электрод, источник постоянного тока, положительным полюсом соединенный с электродом, а отрицательным полюсом соединенный с камерой, и перекрывающую канал вакуумной откачки сетку, соединенную электрически с камерой.
ГРНТИ
55.22.01 Общие вопросы
Ключевые слова
ВАКУУМНАЯ КАМЕРА
МИШЕНЬ
ЭЛЕКТРОД
ПЛАЗМА
Детали

НИОКТР
№ 114051270018
Тип РИД
Изобретение
Ожидается
Исполнитель
Исполнители
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования «Московский государственный технологический университет «СТАНКИН»
Заказчик
Министерство образования и науки Российской Федерации