РИД
№ АААА-Г16-616101810013-8Устройство для синтеза и осаждения металлических покрытий на токопроводящих изделиях
18.10.2016
Устройство для синтеза и осаждения металлических покрытий на токопроводящих изделиях, содержащее рабочую камеру с каналом вакуумной откачки, плоские мишени планарных магнетронов на стенках камеры, источники электропитания магнетронных разрядов, соединенные отрицательными полюсами с мишенями, а положительными полюсами с камерой, при этом оно дополнительно содержит изолированный от камеры и установленный внутри нее электрод, источник постоянного тока, положительным полюсом соединенный с электродом, а отрицательным полюсом соединенный с камерой, и перекрывающую канал вакуумной откачки сетку, соединенную электрически с камерой.
ГРНТИ
55.22.01 Общие вопросы
Ключевые слова
ВАКУУМНАЯ КАМЕРА
МИШЕНЬ
ЭЛЕКТРОД
ПЛАЗМА
Детали
НИОКТР
№ 114051270018
Тип РИД
Изобретение
Ожидается
Исполнитель
Исполнители
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования «Московский государственный технологический университет «СТАНКИН»
Заказчик
Министерство образования и науки Российской Федерации
Похожие документы
Устройство для осаждения покрытий
0.976
РИД
Устройство для синтеза покрытий на диэлектрических изделиях
0.949
РИД
Устройство для синтеза покрытий
0.934
РИД
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОСАЖДЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК
0.932
РИД
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИОННО-ПЛАЗМЕННОГО НАПЫЛЕНИЯ
0.921
РИД
Устройство для магнетронного нанесения покрытий
0.920
РИД
Установка вакуумного магнетронного напыления тонких пленок
0.915
РИД
Магнетронное распылительное устройство
0.913
РИД
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ПРОВОДЯЩИХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ СТРУКТУР НА ПОВЕРХНОСТИ ДИЭЛЕКТРИКОВ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ СФОКУСИРОВАННОГО МОНОХРОМАТИЧЕСКОГО ИЗЛУЧЕНИЯ
0.913
РИД
Устройство для нанесения многослойных покрытий
0.913
РИД