РИД
№ АААА-Г16-616112250056-5Программа для управления откачной системой в составе электронно-лучевой вневакуумной установки с плазменным эмиттером
22.11.2016
Программа предназначена для распределения управляющих сигналов между элементами откачной системы двух (трех) ступенчатой системы дифференциальной откачки как в ручном, так и автоматическом режиме. Программа реализует интерфейс ввода/вывода управляющих сигналов ко всем элементам откачной системы (датчики давления, датчики воды, форвакуумные насосы, турбомолекулярные насосы, вакуумная запорная арматура).
ГРНТИ
29.35.37 Электронная и ионная эмиссия
47.29.33 Газоразрядные приборы и устройства
47.29.29 Электронно-лучевые приборы
29.27.23 Пучки в плазме
29.35.39 Корпускулярная оптика. Пучки заряженных частиц
Ключевые слова
ОТКАЧНАЯ СИСТЕМА
СИСТЕМА ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНОЙ ОТКАЧКИ
УПРАВЛЕНИЕ ЭЛЕМЕНТАМИ ОТКАЧНОЙ СИСТЕМЫ
РУЧНОЙ И АВТОМАТИЧЕСКИЙ РЕЖИМ
Детали
НИОКТР
№ 114102140034
Тип РИД
Программа для ЭВМ
Ожидается
Исполнитель
Исполнители
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники"
Заказчик
Министерство образования и науки Российской Федерации
Похожие документы
Программный комплекс для управления режимами работы источника плазмы
0.916
РИД
Программа управления электронной пушкой с плазменным эмиттером в составе электронно-лучевой вневакуумной установки с плазменным эмиттером
0.911
РИД
Программа для управления автоматической откачкой вакуумной камеры установки
0.910
РИД
Программа для автоматизированного управления установкой плазмохимического акватермолиза тяжёлого углеводородного сырья
0.906
РИД
Программа для управления установкой генерации высоковольтных разрядов, индуцирующих реакции в жидкой фазе
0.898
РИД
Программа для управления установкой генерации высоковольтных разрядов, индуцирующих реакции в жидкой фазе
0.898
РИД
Программа для управления режимами ионно-плазменной обработки изделий в вакуумной установке
0.894
РИД
Программа управления вакуумной энергоустановки
0.894
РИД
Программа для управления кольцевым планарным магнетроном
0.894
РИД
Управление и мониторинг рабочих узлов электроплазменной установки
0.894
РИД