Способ изготовления графеновой плёнки и устройство для реализации этого способа

Изобретение относится к области химии, и изготовленные графеновые плёнки могут быть использованы в электроники, оптики, фотоники, оптоэлектроники и других смежных областях. На основе изготовленных графеновых плёнок могут быть созданы такие оптоэлектронные приборы как, фотодетекторы, гибкие экраны, прозрачные суперконденсаторы и другие. Способ изготовления графеновой плёнки заключается в реализации широко используемого метода химического газофазного осаждения. Этот метод заключается в нагреве каталитической подложки до высокой температуры (более 800 градусов Цельсия) в среде углеродсодержащего газа. В настоящем изобретении описывается способ реализации метода химического газофазного осаждения для изготовления графеновой плёнки, а также устройство для осуществления этого способа.