РИД
№ АААА-Г16-616122210091-7Узел катода магнетронного распылителя
22.12.2016
Изобретение относится к области нанесения покрытий распылением металлов с использованием магнитного поля, а именно, к магнетронным распылительным устройствам.Технической задачей предлагаемого изобретения является повышение эффективности охлаждения мишени и магнитной системы узла катода магнетронного распылителя.Технический результат заключается в повышении эффективности охлаждения и надежности работы узла катода магнетронного распылителя.
ГРНТИ
44.31.35 Промышленная теплоэнергетика и теплотехника
44.31.31 Тепловые электростанции
Ключевые слова
ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ПОКРЫТИЯ
МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛИТЕЛЬНОЕ УСТРОЙСТВО
Детали
НИОКТР
№ АААА-А15-115120150031-4
Тип РИД
Изобретение
Ожидается
Исполнитель
Исполнители
федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "МЭИ"
Заказчик
Министерство образования и науки Российской Федерации
Похожие документы
Узел катода магнетронного распылителя с горячей мишенью
0.962
РИД
Магнетронное распылительное устройство
0.940
РИД
Магнетронное распылительное устройство
0.935
РИД
Узел катода магнетронного распылителя
0.935
РИД
Способ магнетронного напыления с ультразвуковым распылением плазмы
0.927
РИД
Распылительный магнетрон
0.926
РИД
Катодно-распылительный узел несбалансированного магнетрона с цилиндрической мишенью
0.916
РИД
Магнетронная распылительная система
0.914
РИД
Магнетрон с уменьшенным энергетическим воздействием на подложку
0.913
РИД
Магнетронное распылительное устройство
0.911
РИД