Интегральный микромеханический гироскоп-акселерометр

Изобретение относится к области измерительной техники и микросистемной техники, а более конкретно к интегральным измерительным элементам величин угловой скорости и ускорения. Техническим результатом является возможность измерения величин угловых скоростей вдоль осей Х и Y, расположенных в плоскости подложки, и Z, направленной перпендикулярно плоскости подложки и величин линейных ускорений вдоль осей Х, Y, Z.