Способ отклонения пучков заряженных частиц плоской кремниевой пластиной, патент № 2550142

27.12.2016

Способ отклонения пучков заряженных частиц плоской кремниевой пластиной с нанесенными на ней последовательно поперечными канавками с помощью фрезы треугольного профиля, отличающееся тем, что необходимый изгиб поверхностных слоев в кристалле для отклонения падающего пучка ускорителя достигается без использования внешнего изгибающегося устройства за счет внутренних механических напряжений, вызванных этими канавками.

ГРНТИ

29.05.81 Методика и техника эксперимента в физике элементарных частиц

Ключевые слова

СПОСОБ ОТКЛОНЕНИЯ ПУЧКОВ ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ ПЛОСКОЙ КРЕМНИЕВОЙ ПЛАСТИНОЙ

Детали

НИОКТР

№ АААА-А17-117100450022-9

Тип РИД

Изобретение

Ожидается

Исполнитель

Исполнители

Федеральное государственное бюджетное учреждение "Институт физики высоких энергий имени А.А. Логунова Национального исследовательского центра "Курчатовский институт"

Заказчик

Похожие документы

Устройство для одновременного вывода и деления пучков заряженных частиц изогнутыми монокристаллами, Патент № 116679

0.882

РИД

Способ измерения профиля пучка на ускорителях, патент № 2341919

0.880

РИД

Способ обработки обратной стороны кремниевой транзисторной структуры

0.866

Промышленная инновация

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КРЕМНИЕВЫХ СТРУКТУР С ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ИЗОЛЯЦИЕЙ