Способ получения пористого кремния из высокочистого силикагеля

В настоящее время основным способом получения пористого кремния является электрохимическое анодное растворение поверхности кремния плавиковой кислотой. Важными достоинствами технологии электрохимического травления (ЭХТ) пористого кремния являются низкая температура получения образцов, дешевизна и совместимость формирования пористого кремния с технологическими процессами микроэлектроники. Недостатком данного способа является тот факт, что во-первых, необходимо использовать чистый и дорогой в производстве монокристаллический кремний, во- вторых, получается пористый кремний на поверхности, а не по всему объему.