Способ изготовления фазовых дифракционных решеток, микроструктур и контактных масок

Способ относится к оптическому приборостроению и может быть использован для создания дифракционных оптических элементов видимого и ультрафиолетового диапазона - линз Френеля, фокусаторов, корректоров и др. Способ включает в себя магнетронное осаждение пленки молибдена толщиной не менее 15 нм на поверхность диэлектрической подложки, формирование топологического рисунка оптического элемента с последующей выдержкой в муфельной печи при определенной температуре в течение 0,5-3,5 мин. Способ позволяет термическим окислением формировать фазовый микрорельеф на поверхности подложки без применения ионно-реактивного травления, что позволяет сократить продолжительность технологического цикла и снизить себестоимость изготовления фазовых дифракционных решеток, микроструктур и контактных масок.