Способ получения тетрахлорида кремния высокой чистоты

Изобретение относится к способу получения высокочистого тетрахлорида кремния и может быть использовано в производстве тетрахлорида кремния оптического качества, применяемого в технологии синтеза сцинтилляционных материалов, предназначенных для создания детектирующих медицинских систем, так и для его использования в полупроводниковой промышленности для производства высокоомных эпитаксиальных структур.Способ включает хлорирование технического тетрахлорида кремния в реакторе при подаче хлора под слой жидкого тетрахлорида кремния в количестве большем, чем стехиометрически необходимо, с определенной скоростью, с выдержкой прохлорированного продукта и при освещении дневным светом через смотровое окно, последующую фракционную перегонку полученного продукта на ректификационной тарельчатой кварцевой колонне с отбором лёгкой и целевой фракций, при этом отбор лёгкой фракции с растворённым в ней хлором направляют на стадию хлорирования, а готовый продукт отбирают при флегмовом числе = 20