Узел катода магнетронного распылителя

16.01.2018

Предлагаемая полезная модель узла катода магнетронного распылителя, позволяет регулировать разогрев распыляемого материала до заданной температуры, вплоть до температуры плавления, при конкретной мощности магнетронного разряда устройства, при предотвращении перегрева магнитов.Технический результат достигают созданием узла катода магнетронного распылителя, в котором, согласно полезной модели, мишень состоит из двух частей –подложки мишени и вкладки из распыляемого материала, расположенной на наружной стороне подложки, причем дополнительно промежуточные теплопередающие элементы размещены между подложкой мишени и вкладками, и между стороной магнитов, расположенной напротив мишени и подложкой, причем подложка мишени выполнена с направляющими, в которых установлены вкладки, снабженные планками, предназначенными для передачи прижимного усилия к подложке мишени.

ГРНТИ

55.22.29 Комбинированные и другие покрытия

Ключевые слова

МАГНЕТРОН С РАЗОГРЕТОЙ МИШЕНЬ

УПРОЧНЯЮЩИЕ ПОКРЫТИЯ

КЕРАМИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ

ОКСИДНЫЕ ПОКРЫТИЯ

ФОТОКАТАЛИТИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ

Детали

НИОКТР

№ АААА-А17-117032910003-9

Тип РИД

Полезная модель

Сферы применения

Разрабатываемое устройство высокоскоростного магнетронного распыления с разогретой мишенью предназначено для нанесения покрытий в составе вакуумных установок:- металлических: Ti, Cr, Zr, Al и другие металлы. Особенно ожидается высокая скорость нанесения магнитных материалов: Ni, Co, нержавеющая сталь. Эти покрытия используются в качестве адгезионных, функциональных слоев в оптике, микроэлектронике, при нанесении упрочняющих покрытий и других областях. (Металлизация пластика, мебельной и дверной фурнитуры) -полупроводниковых: Si, Ge, ZnO, ZnS, SiC и другие покрытия, используемые в качестве функциональных слоев микроэлектроники. -керамических: TiN, AlTiN, TixOy, AlTiSiN, TiCN, CrxOy, Al2O3 и множества других, используемых в качестве упрочняющих, защитно-декоративных, фотокаталитических покрытий. ( инструмент, штампы, пресс-формы, мебельная и дверная фурнитура,декоративная керамика)

Ожидается

Исполнитель

Исполнители

ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "ИНЖЕНЕРНО-ВНЕДРЕНЧЕСКИЙ ЦЕНТР ПЛАЗМАИНСТРУМЕНТ"

Заказчик

ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"

Похожие документы

Узел катода магнетронного распылителя с горячей мишенью

0.949

РИД

Узел катода магнетронного распылителя

0.935