Способ ионно-плазменного напыления на ленточную подложку тонких пленок

Изобретением является получение на ленточной подложке из нетканого волокнистого материала однородного равномерного проводящего покрытия комбинированного состава. Способ ионно-плазменного напыления на ленточную подложку тонких пленок включает подачу рабочего газа в вакуумную камеру с подложкой, обработку подложки и напыление многослойного покрытия на движущуюся с постоянной скоростью ленточную подложку магнетронным распылением при постоянном напряжении на катоде-мишени. При перемещении ленточной подложки, производят напыление одновременно из двух мишеней, выполненных соответственно из металла и углерода. В процессе напыления постоянное напряжение на мишенях изменяют, переключая подачу напряжения на каждую мишень с частотой, линейно зависящей от скорости перемещения подложки. При этом напряжение подают асимметрично со скважностью подачи на металлическую мишень напряжения дольше по времени, чем на мишень из углерода - со скважностью подачи напряжения на металлическую мишень 50 — 70%.