Установка вакуумного магнетронного напыления тонких пленок

30.01.2018

Создание вакуумной установки позволяет расширить функциональные возможности, за счет получения на ленточной подложке нанометрического равномерного покрытия многокомпонентного состава, имеющего улучшенные механические свойства. Установка вакуумного магнетронного напыления тонких пленок содержит вакуумную камеру, вдоль которой расположены два магнетронных распылительных устройства, содержащих плоские катоды -мишени и магнитную систему, находящуюся за катодом-мишенью. Установка также включает систему откачки и напуска рабочего газа в вакуумную камеру и систему перемещения подложки вдоль вакуумной камеры с ленточным конвейером. Вдоль внешней боковой поверхности катодов-мишеней установлены экраны в виде металлических пластин. Катоды-мишени выполнены — один из металла, другой из углерода.

ГРНТИ

47.13.11 Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники

47.13.07 Технология и оборудование для производства приборов и устройств наноэлектроники

45.35.99 Прочие виды силовых электрических конденсаторов

Ключевые слова

ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА

МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛИТЕЛЬНОЕ УСТРОЙСТВО

ЛЕНТОЧНЫЙ КОНВЕЙЕР

АДГЕЗИЯ

УГЛЕРОД

Детали

НИОКТР

№ АААА-А17-117012350129-2

Тип РИД

Полезная модель

Сферы применения

Полезная модель относится к области плазменной техники, в частности к устройствам магнетронного распыления, и может быть использована для вакуумного ионно-плазменного напыления тонких пленок на поверхность подложки, для получения функциональных покрытий при производстве материалов электронной техники, а именно для конденсаторов, суперконденсаторов, аккумуляторов и подобных изделий.

Ожидается

Исполнитель

Исполнители

Общество с ограниченной ответственностью "Накопители Энергии Супер Конденсаторы"

Заказчик

ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"

Похожие документы

Вакуумная установка магнетронного напыления тонких пленок на движущуюся подложку

0.969

РИД

Магнетронное распылительное устройство

0.935