Способ получения многослойного многофункционального покрытия

Способ получения многослойного многофункционального покрытия включает ионную очистку подложки в среде аргона методом тлеющего разряда и нанесение слоев Ti и TiAlN методом магнетронного распыления. Ионную очистку и нанесение слоёв покрытия осуществляют с использованием дуальной магнетронной системы, после ионной очистки высокое напряжение снижают до опорного -50 В и наносят подслой титана Ti и переходный слой нитрида титана TiN. Чередующиеся слои нитрида титана и алюминия Ti-Al-N с нанокристаллической и поликристаллической структурой наносят в газовой смеси азота и аргона. осаждение чередующихся слоёв повторяют не менее двух раз и верхним наносят слой Ti-Al-N с нанокристаллической структурой, при этом нанесение слоёв проводят на расстоянии от мишеней до подложки 140-150 мм, со скоростью вращения подложки 20-25 об/мин и температуре подложки 473-523 К.