Вакуумная установка магнетронного напыления тонких пленок на движущуюся подложку

Создание вакуумной установки позволяет расширить функциональные возможности, за счет использования в качестве подложки рулонного материала и напыления на него равномерной тонкой пленки заданной толщины. Вакуумная установка магнетронного напыления тонких пленок на движущуюся подложку содержит систему откачки и напуска рабочего газа в вакуумную камеру, вдоль которой расположены магнетронные распылительные устройства с плоским катодом -мишенью и магнитной системой, расположенные над конвейером перемещения подложки вдоль вакуумной камеры. Конвейер закреплен на основании в виде рамы и имеет привод с частотным регулятором, соединенный через узлы передачи вращения в виде звездочек с приводными валами передачи поступательного движения конвейера, установленными с двух сторон основания.