Способ изготовления катодов (мишеней) для установок магнетронного распыления с помощью электрофизической и электрохимической обработки (2018136787)

Предложен способ, в котором вначале осуществляют электроэрозионную обработку заготовки, при которой от прутка отрезают диск. Затем путем электрохимической обработки с обеих сторон, обеспечивают заданные параметры поверхности, при этом электроэрозионную обработку заготовки осуществляют на проволочно­вырезном станке с числовым программным управлением, обеспечивающим точность размеров с учетом припусков на последующую электрохимическую обработку. После чего осуществляют двухстороннюю электрохимическую обработку полученного диска, при которой он обрабатывается в течение времени t до достижения заданного параметра.