Способ получения высокочистого поликристаллического кремния

Изобретение относится к химической технологии, а именно к получению поликристаллического кремния восстановлением трихлорсилана водородом и может быть использовано для получения поликристаллического кремния методом водородного восстановления трихлорсилана в безотходном режиме. Способ получения поликристаллического кремния водородным восстановлением трихлорсилана на кремниевые стержни-основы включает: приготовление парогазовой смеси в испарителе, осаждение кремния на нагретых кремниевых стержнях в реакторе восстановления, регенерацию компонентов отходящей парогазовой смеси: хлористого водорода путём перевода в трихлорсилан и тетрахлорид кремния в реакторе, содержащем мелкодисперсный кремний, отделение водорода из смеси с хлорсиланами на полимерных мембранах и его возврат в производственный цикл, конденсацию и ректификацию трихлорсилана и тетрахлорида кремния с возвратом трихлорсилана на стадию приготовления парогазовой смеси для восстановления кремния, а тетрахлорида кремния на стадию.