Способ нанесения твердых износостойких наноструктурных покрытий из аморфного алмазоподобного углерода

Изобретение относится к способу нанесения твердых износостойких наноструктурных покрытий из аморфного алмазоподобного углерода и может быть использовано в металлообработке, машиностроении, медицине, химической промышленности. Получают покрытие толщиной 200-2000 нм с чередованием двух слоев, с общим количеством слоев 2-100, при толщине каждого слоя 20-1000 нм. Слои наносят поэтапно в одной рабочей камере установки для нанесения упрочняющих покрытий. Технический результат при использовании данного способа заключается в получении покрытий с межслоевыми границами, которые препятствуют распространению трещин, что повышает износостойкость покрытий.