Источник интенсивных потоков низкотемпературной плазмы с высокой степенью ионизации

Изобретение относится к области получения интенсивных широкоапертурных (до сотен см2) потоков плазмы с высокой степенью ионизации с эффективным током сотни ампер. Предлагаемый источник интенсивных потоков низкотемпературной плотной плазмы может быть использован в ряде плазменных технологий. Для создания плазмы в магнитной ловушке в условиях электронно-циклотронного резонанса используют мощное электромагнитное излучение миллиметрового диапазона длин волн, что позволяет существенно увеличить плотность газоразрядной плазмы. В разработанном источнике потоков плазмы система газонапуска выполнена в виде многоапертурной системы трубок с независимой подачей рабочего газа. Кроме того, введена дополнительная магнитная катушка, ограничивающая поперечный размер разлетающейся из ловушки плазмы. Подобная конструкция позволяет регулировать поперечное распределение потока газа и формировать широкоапертурный поток плазмы с необходимой, в том числе плоской, поперечной структурой.