Способ получения наноразмерного кристаллического кремния с использованием установки быстрого циклического сжатия

19.03.2019

Предложен способ получения наноразмерного кристаллического кремния с использованием установки быстрого циклического сжатия. В качестве реагентов используется смесь моносилана с аргоном. Образовавшиеся продукты поступают через выпускной клапан в систему сбора продуктов, в реакторный объем подаётся следующая порция исходных реагентов, заканчивая тем самым цикл переработки. При многократном повторении цикла формируется непрерывный процесс переработки моносилана в наноразмерный кристаллический кремний.

ГРНТИ

61.31.47 Кремний и его соединения

Ключевые слова

НАНОРАЗМЕРНЫЙ КРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ; УСТАНОВКА ЦИКЛИЧЕСКОГО СЖАТИЯ

Детали

Тип РИД

Секрет производства (ноу хау)

Сферы применения

Предлагаемый способ получения наноразмерного кремния удобен для технологического исполнения в промышленном производстве высокочистого нанопорошка кремния. Процесс поддается полной автоматизации, что значительно удешевит производство нанопорошка кристаллического кремния.

Ожидается

Исполнитель

Исполнители

Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Новосибирский национальный исследовательский государственный университет"

Похожие документы

Способ получения нанокристаллического порошка кремния

0.947

РИД

Способ получения наноразмерного карбида кремния с использованием установки быстрого циклического сжатия

0.941

РИД

Способ получения нанокристаллического порошка кремния

0.941

РИД

Способ получения порошков пористого кремния

0.935