Схема полнополевого рентгеновского микроскопа на основе элементов преломляющей рентгеновской оптики и микрофокусной рентгеновской трубки как источника рентгеновских лучей

Устройство относится к рентгеновской технике и может быть использовано для проведения неразрушающих исследований морфологии широкого спектра объектов: биологических, электронных, конструкционных как отдельно, так и в составе более крупного комплексного объекта, также для детального изучения крупных объектов микро- или макро-устройств с микрометрической точностью (не хуже 5 мкм). Технический результат достигается за счет применения в схеме микрофокусной рентгеновской трубки с энергией характеристических фотонов от 8-30 КэВ, конденсор для сбора рентгеновского излучения, представляющий собой собирающую линзу или систему линз - 29 параболических бериллиевых линз с радиусом кривизны 50 мкм, объектив, представляющий собой сферическую микрокапиллярную линзу с числом элементов 184 и радиусом 50 мкм, образца для сканирования, полупроводниковой высокоразрешающей CCD рентгеновской камеры для регистрации распределения интенсивности рентгеновского пучка.